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(1)真空机组的设计条件
?、僬婵帐业囊阎问?真空室的体积;放气的表面积;真空室的漏气量;工作真空度;极限真空度;预抽时间和达到极限真空的抽气时间等。
?、谡婵帐夷诘钠逶辞榭?真空室内的大气;真空室内表面放气;真空室的动密封处、静密封处的漏气;壳体渗透气体;被处理材料放出的气体;工艺过程需要而引入的气体。
?、壅婵帐夷诘奶厥庖?工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等;真空室内是否要求无油、无振动等。
(2)真空机组设计计算的一般程序
A.真空室内总放气量的计算;
B.确定真空室的有效抽速;
C.粗配主泵和粗配前级真空泵;
D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;
E.绘制真空系统装配草图,确定各部分的尺寸;
F.梢确(复核)计算各真空泵的参数,如果粗选的真空泵达不到要求,就需要重新选泵和配泵,直到满足各参数要求为止;
G.绘制真空系统装配图;
H.绘制零件图,绘制施工图。
这八条设计计算步骤是非标准设计不可缺少的。随着真空设备的不断发展,随着各种新型的真空机组的不断出现,真空系统设计过程会不断简化.现在已有定型真空机组,若可以直接选择定型真空机组来获得所需真空系统,便可省去麻烦的真空系统设计。